ASML将去四代EUV光刻机进度表露 ：正背1nm迈进

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日前，ASML产品营销总监Mike Lercel背媒体分享了EUV极紫中）光刻机的最新停顿 。ASML现在主力出货的EUV光刻机别离是NXE：3400B战3400C，它们的数值孔径NA）均为0.33，日